El cobertizo de purificación adopta aluminio industrial (o cuadrado de acero inoxidable, pulverización cuadrada de hierro) como marco, suministro de aire de la unidad de filtro del ventilador (FFU), cortinas antiestáticas (o vidrio templado) que cuelgan alrededor, y su nivel de purificación interna puede alcanzar 100-10,000 niveles. Es conveniente para el área con los altos requisitos para el nivel local de la purificación en el área de operación.